前段Array制程：薄膜/黃光/蝕刻/剝膜（二）

　　我們以一個像素單位為例，如上圖，這個像素中，淺色部分未曝光，而深色的是曝光部分。

　　接著，用顯影劑將曝光部分的光刻膠清洗掉，這樣就只剩下未曝光的光刻膠部分，然后用去離子水將溶解的光刻膠沖走。

　　顯影之后需要加熱烘烤，讓未曝光的光刻膠更加堅固的依附在ITO玻璃上

　　然后用適當(dāng)?shù)乃峥桃簩o光刻膠覆蓋的ITO膜的蝕刻掉，只保留光刻膠下方的ITO膜。ITO玻璃為（In2O3 與SnO2）的導(dǎo)電玻璃，未被光刻膠覆蓋的ITO膜易與酸發(fā)生反應(yīng)，而被光刻膠覆蓋的ITO膜可以保留下來，得到相應(yīng)的拉線電極。

　　前段Array制程：薄膜/黃光/蝕刻/剝膜（三）

　　剝膜：用高濃度的堿液（NaOH 溶液）作脫膜液，將玻璃上余下的光刻膠剝離掉，從而使ITO玻璃形成與光刻掩模版完全一致的ITO圖形。

　　用有機溶液沖洗玻璃基本標(biāo)簽，將反應(yīng)后的光刻膠帶走，讓玻璃保持潔凈狀態(tài)。這樣就完成了第一道薄膜導(dǎo)電晶體制程，一般至少需要5道相同的過程，在玻璃上形成復(fù)雜精密的電極圖形。

　　用相同的方法在玻璃上拉出其他的ITO電極圖形

　　形成復(fù)雜精密的電極圖形，可以更好的控制液晶分子的運動

　　這樣，前段Array制程就結(jié)束了。從整個過程不難看出，前面在TFT玻璃上沉積ITO薄膜、涂光刻膠、曝光、顯影、蝕刻，最終是為了在TFT玻璃上形成前期設(shè)計好的ITO電極圖形，以便于在玻璃上控制液晶分子的運動。整個生產(chǎn)過程的大致步驟并不復(fù)雜，但是技術(shù)上的細節(jié)和注意事項非常繁瑣，這里我們就不多做介紹了，有興趣的朋友可以自行查閱相關(guān)資料。

　　液晶板所用玻璃的制造工藝也是非常講究。目前，全球最大的液晶面板用玻璃，主要由美國康寧、日本旭硝子等廠商提供，處于液晶面板生產(chǎn)制造的上游，這些廠商都掌握著玻璃生產(chǎn)工藝的技術(shù)專利。前幾個月，由于地震造成康寧玻璃停爐事件，對液晶面板行業(yè)造成了一定的影響，可看出其在行業(yè)內(nèi)的地位。