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很好的流片經(jīng)驗(yàn)!高阻態(tài)導(dǎo)致芯片出現(xiàn)大漏電流-另一類(lèi)的容易忽視的靜態(tài)大電流

 畢杰lb7q1kq7pr 2020-12-15

作者:賈柱良,本文來(lái)自作者的EETOP博客,論壇ID:jiazhuliang 

在芯片流片之后,需要測(cè)試芯片的靜態(tài)漏電流的設(shè)計(jì)是否達(dá)標(biāo),如果芯片的靜態(tài)電流過(guò)大,比如應(yīng)用到手機(jī)、筆記本電腦等需要電池供電的芯片會(huì)嚴(yán)重的影響待機(jī)時(shí)間,使芯片的在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)處于不利地位,所以靜態(tài)功耗需要慎重考慮。

    本人在五年前負(fù)責(zé)后端設(shè)計(jì)的一個(gè)SOC芯片,該芯片嵌入了SRAM、eeprom等模塊,芯片的前后端設(shè)計(jì)和驗(yàn)證都非常充分,而且在FPGA板上驗(yàn)證都沒(méi)有問(wèn)題,可謂是萬(wàn)事具備只欠東分,就等芯片流片回來(lái)測(cè)試,工夫不負(fù)有“芯人”,芯片流片回來(lái),所有的功能測(cè)試在測(cè)試工程師的一個(gè)個(gè)不同的測(cè)試向量在芯片,非常的順利。不同的worst 、type 、 best corner都能正常通過(guò),可謂時(shí)序功能雙豐收。

在測(cè)芯片的AC參數(shù)如PAD的高低電平,也達(dá)到設(shè)計(jì)指標(biāo)。而該測(cè)試的芯片的靜態(tài)漏電流也達(dá)到了指標(biāo)的10uA.大伙都認(rèn)為設(shè)計(jì)非常的成功。但是在芯片在可靠性測(cè)試和成品率分析中發(fā)現(xiàn)了問(wèn)題,有的芯片的最大漏電流達(dá)到300uA,最小的漏電流2uA,而且從測(cè)試芯片的概率來(lái)分析成線性分布。

發(fā)現(xiàn)了使用了各種不同的上電順序如先1.8v后3.3v所有的輸入都接固定的電平如VDD或者VSS,卻保所有的雙向PAD為輸出狀態(tài),目的是防止輸入為懸空狀態(tài),而導(dǎo)致漏電流變大。但是芯片漏電流大的還是大,漏電小的還是小。于是我聯(lián)想到是不是foundry廠家生產(chǎn)良率問(wèn)題造成的?我就這問(wèn)題還專(zhuān)門(mén)的咨詢(xún)個(gè)foundry,廠家也給我提了很多建議,如查看生產(chǎn)后的PCM參數(shù),如廠家在wafer上有選擇抽區(qū)10個(gè)檢測(cè)點(diǎn),如果有一到兩個(gè)PCM 參數(shù)有少量的失真屬于比較正常的設(shè)計(jì)范圍。找到了生產(chǎn)后foundry產(chǎn)家寄回來(lái)的PCM 參數(shù)表,下載產(chǎn)家網(wǎng)站上生產(chǎn)前的PCM參數(shù),仔細(xì)的對(duì)比只有一個(gè)測(cè)試點(diǎn)有一個(gè)NMOS的域值電壓有點(diǎn)超標(biāo)。后來(lái)打聽(tīng)與我們一起做MPW的所的設(shè)計(jì)的芯片,他們的芯片在靜態(tài)電流上非常正常,與設(shè)計(jì)的指標(biāo)uA級(jí)的,上下波動(dòng)不超過(guò)2uA。這樣有排除了foundry生產(chǎn)上的良率可能造成的問(wèn)題。

  在漫長(zhǎng)的測(cè)試和討論,前端與后端設(shè)計(jì)工程師都認(rèn)為自己的設(shè)計(jì)沒(méi)有問(wèn)題,甚至都在心底都懷疑對(duì)方設(shè)計(jì)存在不足,只是沒(méi)有上升到公開(kāi)的臺(tái)面上的爭(zhēng)吵。后來(lái)在絕望中,又想到了一個(gè)方法,那就是做EMMI(也就是微光拍照),微光拍照是在上海宜碩做的,照片寄回來(lái),果然在漏電流最大的幾個(gè)芯片存在亮點(diǎn),而且亮點(diǎn)的位置在同一個(gè)位置,補(bǔ)充說(shuō)明有亮點(diǎn)說(shuō)明有大的漏電流。從亮點(diǎn)的所在芯片的位置是在數(shù)字邏輯上,而不是在芯片的模擬位置,如果是模擬部分那還好說(shuō),如有大電流的比較器或者放大器,本身會(huì)存在PMOS和NMOS同時(shí)道通導(dǎo)致短路電流。如果短路電流比較大如超過(guò)80uA,也會(huì)在EMMI上也會(huì)拍出來(lái)。既然出在數(shù)字電路門(mén)電路上,那么只有兩種可能導(dǎo)致大電流:

情況1:在該區(qū)域的MOS版圖設(shè)計(jì)沒(méi)有滿足foundry給出latch up的設(shè)計(jì)規(guī)則,而導(dǎo)致MOS由于寄生的三極管發(fā)生了正反饋電流急劇增加。而正反饋是不受控制的直至MOS被損壞。

情況2:有可能該數(shù)字門(mén)電路的輸入端懸空,有可能導(dǎo)致PMOS和NMOS同時(shí)導(dǎo)通,存在短路電流,如果MOS管的尺寸越大表現(xiàn)出來(lái)的漏電流就越大。

從本能上,我首先要懷疑的后端版圖是不是出了問(wèn)題,根據(jù)照片上的亮,通過(guò)照片上可見(jiàn)的頂層和模糊的下層的比較大的stripe金屬電源地,定位出來(lái)的邏輯門(mén)器件是一個(gè)比較大驅(qū)動(dòng)的BUF單元,我看了版圖的加了足夠的well tap 和sub tap ,且所有BUF的MOS管單元離tap的距離不超過(guò)20微米,我可以肯定不可能發(fā)生在版圖上發(fā)生latch up 效應(yīng)的。假設(shè)如果整的發(fā)生了 latch up,因?yàn)閘atch up是受控制的,那么在功能測(cè)試上一定為表現(xiàn)出該單元的邏輯功能會(huì)失效,而且是永久性的,是不可能恢復(fù)的,直到該區(qū)域的MOS器件被燒毀,除非及時(shí)關(guān)掉電源,只要上電就回發(fā)生。但是邏輯功能上分析該BUF單元影響的邏輯功能并沒(méi)有出錯(cuò)啊,而且在高溫下測(cè)試該功能也正常,從latch up角度分析越是高溫就越容易發(fā)生 latch up.所以更進(jìn)一步的正式不是latch up 導(dǎo)致的大電流。

 那么另一種可能是BUF的輸入是懸空,導(dǎo)致電流從VDD經(jīng)過(guò)PMOS  NMOS 到GND上的大短路電流。從亮點(diǎn)上的BUF的第一個(gè)反向器的尺寸比較大,我又用SPICE仿真,在GND和NMOS管加了一個(gè)1K歐姆的電阻,在輸入模擬的加上一個(gè)不確定的邏輯狀態(tài)的電壓,最大的漏電流測(cè)試有80uA左右,符合EMMI亮點(diǎn)的所需電流的條件。那么就追BUF的輸入是從何而來(lái),最后查出是連接eeprom的輸出,那么是不是eeprom的輸出是不是有Z的高阻,找電路人員分析了eeprom的說(shuō)明文檔確實(shí)有輸出Z的狀態(tài),且受OEN信號(hào)控制,但 OEN為高時(shí)輸出為高阻,碰巧的是給出測(cè)試漏電流條件OEN始終沒(méi)有為高,因?yàn)樵诟咦鑒uffer的電壓是隨機(jī)分布的,在測(cè)試漏電流統(tǒng)計(jì)分布存在最大和最小之間隨機(jī)大小的電流。好家伙問(wèn)題找到,后來(lái)前端工程師修改了測(cè)試向量,在測(cè)漏電流是eeprom的OEN為低使eeprom的輸出為穩(wěn)定的邏輯狀態(tài),果然芯片漏電有300uA的芯片有回到了2uA漏電流。這個(gè)看起來(lái)簡(jiǎn)單的問(wèn)題,如果在設(shè)計(jì)中不注意的話,會(huì)帶來(lái)比較大的麻煩,其實(shí)在后端工程師也是有責(zé)任的,如果仔細(xì)的查看文擋,可以在象SRAM  EEPROM的輸出有高阻的pin第一級(jí)單元選用盡量小尺寸的mos門(mén)器件,即使有高阻導(dǎo)致短路電流,但也是很小的。

總結(jié),芯片設(shè)計(jì)前后工程師需要良好的溝通,彌補(bǔ)各個(gè)層次方面知識(shí)的不足,盡可能多提出些可能存在的風(fēng)險(xiǎn)性的問(wèn)題。這樣才能做出好的芯片。

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