工欲善其事，必先利其器。在全球化的今天，專利已不僅僅是創(chuàng)新的一種保護(hù)手段，它已成為商業(yè)戰(zhàn)場中的利器。麥姆斯咨詢傾情打造MEMS、傳感器以及物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的專利運(yùn)營平臺，整合全產(chǎn)業(yè)鏈知識產(chǎn)權(quán)資源，積極推動知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)與有效利用。

隨著材料科學(xué)和信息技術(shù)的不斷進(jìn)步，便攜式設(shè)備得到了前所未有的發(fā)展，出于對其柔韌性、抗摔等特定性能的要求，柔性電子學(xué)迎來了春天。傳統(tǒng)工藝制造的MEMS器件是基于硬性材料上，對于柔性材料的貼合與測量存在一定問題。為了滿足這種需要，可貼附、可穿戴、便攜式、可折疊的柔性器件的設(shè)計與制作成為了研究熱點(diǎn)。

與此同時，物聯(lián)網(wǎng)時代帶來了大數(shù)據(jù)和傳感器應(yīng)用大爆發(fā)。有數(shù)據(jù)顯示，2020年全球?qū)⒂?00億的器件會被連接到網(wǎng)絡(luò)，其中10%的傳感器采用無線連接。如果使用電池供電，將造成巨大的浪費(fèi)和生態(tài)污染。此外，很多傳感器的部署和場景往往不太適合或者不方便經(jīng)常更換電池。

隨著環(huán)境逐漸惡化以及資源不斷枯竭，人們對節(jié)約能源和保護(hù)環(huán)境的關(guān)注越來越多。海水的潮起潮落、風(fēng)的此起彼伏等等，地球上能量無處不在，但對于能量的合理收集以及應(yīng)用卻少之又少。目前尚缺乏一種可以充當(dāng)機(jī)械能轉(zhuǎn)化為電能的媒介，來實現(xiàn)能量采集功能的加速度傳感器。

本專利提出了一種新穎的柔性摩擦發(fā)電加速度傳感器，不僅不需外界能源實現(xiàn)自供電，而且不用任何保護(hù)結(jié)構(gòu)可以承受15000 g加速度的沖擊，將MEMS技術(shù)和柔性電子學(xué)相結(jié)合，為自供能、抗高沖擊加速度傳感器的研究和應(yīng)用提供了新思路。

【推薦發(fā)明專利】

《柔性自發(fā)電式加速度傳感器結(jié)構(gòu)與制造方法》

【技術(shù)背景】

日常生活中常出現(xiàn)摩擦起電效應(yīng)，毛皮與橡膠棒、絲綢與玻璃棒、頭發(fā)與尺子之間的相互接觸摩擦能產(chǎn)生成百上千的靜電，有時候人接觸后會有觸電般的感覺，甚至在電子元器件中也需要專門的靜電防護(hù)。

這反映了大眾對摩擦起電現(xiàn)象的忽視甚至排斥，但是如何利用合理的技術(shù)手段來綜合處理應(yīng)用這些廣為詬病的靜電效應(yīng)，做到收集毫不起眼的靜電能，同時也實現(xiàn)變廢為寶實現(xiàn)目標(biāo)要求是新時期MEMS器件研究的新方向。

現(xiàn)有的MEMS加速度傳感器，譬如電容式和壓阻式等，都是基于硅等材料，并未用到柔性材料，同時也無法做到自供給。

【發(fā)明內(nèi)容】

本發(fā)明提供一種柔性自發(fā)電式加速度傳感器，具有可自發(fā)電自供給、可彎折、成本低、制作工藝簡單、具有良好的抗摔性和防水性的優(yōu)點(diǎn)。