當(dāng)代的超精密的加工和微細(xì)加工技術(shù)已經(jīng)達(dá)到了0.1-0.01微米級別的加工精度和0.01-0.001微米級的表面粗糙度的水平，要完成如此高的加工要求，工藝裝備的設(shè)計(jì)是一個(gè)非常重要的任務(wù)。

1.精密度最佳的匹配的原則

精密加工裝備必須進(jìn)行精度設(shè)計(jì)，使得機(jī)械，電子，氣體，液體，光能，計(jì)算機(jī)等各個(gè)組成的部分的精度分配到最佳的精度狀態(tài)。例如，一些關(guān)鍵的機(jī)械零部件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制造精度最準(zhǔn)應(yīng)該獲得最佳的匹配值。工藝裝備中的光電控制，檢測元件，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)等精度和穩(wěn)定性應(yīng)該處于最佳的工作位置或者狀態(tài)。工藝裝備中工件相對于刀具的移動軌跡，感應(yīng)同步器，光柵，激光干涉儀等元器件的安裝位置對工件精度和測量精度的影響，等等，這些都是我媽在精密加工裝備設(shè)計(jì)的時(shí)候不可忽略的因素。

2.尺寸鏈最優(yōu)的原則

精密加工裝備的零部件之間存在著極為密切的尺寸，運(yùn)動和位置的關(guān)系，以及構(gòu)成各種形式的尺寸鏈，在裝備設(shè)計(jì)的時(shí)候，可以根據(jù)產(chǎn)品的使用性能，精度指標(biāo)，結(jié)構(gòu)工藝性和經(jīng)濟(jì)加工精度等要求，通過尺寸鏈的分析，計(jì)算，確定尺寸鏈最短或者尺寸鏈最優(yōu)的方案。

3.變形最小原則

精密加工裝備從本質(zhì)上來說是一臺工作母機(jī)，或者是由工作母機(jī)和附加的夾具或者其他的裝備做組成的，對諸如熱，力效應(yīng)，內(nèi)應(yīng)力或者磨損等因素所引起的工藝系統(tǒng)變形十分的敏感，這種變形會嚴(yán)重的影響整套加工裝備的精度的指標(biāo)，所以提高基礎(chǔ)的機(jī)械元件的剛度，減少傳動機(jī)構(gòu)的各種摩擦，并使得機(jī)械工件和檢測元件處于同一溫度層中，都是實(shí)現(xiàn)變形的最小的原則的有效措施。