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氮封裝置 - 日志 - exanimo - 半導(dǎo)體家園

 簡(jiǎn)單如我 2009-03-27

氮封裝置

氮封裝置主要用于儲(chǔ)罐頂部氮?dú)鈮毫愣刂疲员Wo(hù)罐內(nèi)物料不被氮化及儲(chǔ)罐安全。氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成??焖傩狗砰y由壓力控制器及單座切斷閥組成。
   
儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí),快速泄放閥迅速開啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí),開啟閥門,向罐內(nèi)充注氮?dú)?。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場(chǎng)壓力較高,必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。公稱壓力0.1Mpa,壓力可按分段設(shè)定,從0.5Kpa 66 Kpa以下,介質(zhì)溫度溫度≤80℃。

 

氮封裝置的供(泄)氮壓力設(shè)定方便,且可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行;氮?dú)鈮毫υO(shè)定范圍廣,低至0.5Kpa50mm.w.c,高至Kpa,比值達(dá)132倍,壓力檢測(cè)膜片有效面積大,設(shè)定彈簧剛度小,動(dòng)作極靈敏。
  
供氮壓力調(diào)整:在微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值如1Kpa100mm.w.c,通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)整螺絲2以改變彈簧3的預(yù)壓縮(拉伸)量來(lái)達(dá)到;
泄氮壓力調(diào)整:在快速泄放閥在的壓力控制器部分,通過(guò)調(diào)整座3,改變彈簧4預(yù)壓縮量達(dá)到。一般為避免氮封裝置啟閉頻繁,泄氮設(shè)定值應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值,如2Kpa200mm.w.c),呼吸閥高定值調(diào)整:在上述兩設(shè)定值調(diào)整好后,為避免呼吸閥啟閉頻繁,呼吸閥設(shè)定值應(yīng)大于泄壓設(shè)定值。

 

一、主要部件參數(shù)

零 件 名稱

材料

閥體

ZG230-450 ZG1Cr18i9Ti

閥桿、閥芯、閥座

1Cr18i9Ti

膜片

丁腈橡膠夾增強(qiáng)絳綸織物

彈簧

60Si2Mn

波紋管

1Cr18i9Ti

 

二、主要技術(shù)參數(shù)

公稱通徑DN(mm)

20

25

32

40

50

65

80

100

額定流量系數(shù)(KV

8

11

20

32

50

80

100

160

額定行程(mm

6

8

10

15

20

公稱壓力PN(Mpa)

0.10

壓力調(diào)節(jié)范圍(MP a

0.5∽5.5、5∽10、9∽14、13∽19、18∽24、23∽28
27∽33
、31∽38、36∽44、42∽5149∽58、56∽66

介質(zhì)溫度(

≤80℃

調(diào)節(jié)精度(%)

±10

允許泄漏量(L/h

10ˉ4×閥額定容量

 

 

三、外形尺寸

公稱通徑DN

20

25

32

40

50

65

80

100

A

192

232

308

H

629

631

652

666

689

797

837

1050

L

150

160

180

200

230

290

310

350

G(Kg)

18

19

21

23

25

37

50

59

 

四、法蘭規(guī)格           

公稱通徑DN

20

25

32

40

50

65

80

100

D

105

115

140

150

165

185

200

220

D1

75

85

100

110

125

145

160

180

B

16

18

20

22

n-ф

4-14

4-18

8-18

 

五、安裝注意事項(xiàng)

1)安裝前,檢查整機(jī)零件是否缺損與松動(dòng),對(duì)管道應(yīng)進(jìn)行清洗,介質(zhì)流向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。

2)為便于現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)與操作,閥四周應(yīng)留有適當(dāng)空間與設(shè)置旁路手動(dòng)閥,閥組安裝方案。

3)閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上,閥體與管道的法塵連接,要注意同軸度,并應(yīng)安裝在環(huán)境溫度不超過(guò)-2555℃的場(chǎng)合使用。

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